Odporni
Uporovni senzor je naprava, ki pretvarja izmerjene fizikalne količine, kot so premik, deformacija, sila, pospešek, vlažnost, temperatura itd., v vrednosti upora. Obstajajo predvsem uporovni merilniki napetosti, piezorezivni tipi, toplotno upornostni, toplotni, plinsko občutljivi, občutljivi na vlago in druge uporovne senzorske naprave.
Uporovni merilnik napetosti
Uporovni merilniki napetosti v senzorju imajo učinek kovinske napetosti, kar pomeni, da pride do mehanske deformacije pod delovanjem zunanje sile, tako da se vrednost upora ustrezno spremeni. Obstajata dve glavni vrsti uporovnih merilnikov napetosti: kovinski in polprevodniški, kovinski merilniki napetosti pa so razdeljeni na žične, folijske in tankoslojne. Prednosti polprevodniških merilnikov napetosti so visoka občutljivost (običajno desetkrat večja od žičnih in folijskih tipov) in majhen prečni učinek.
Piezorezistivna
Piezorezistivni senzorji so naprave, izdelane z difuzijskim uporom na substratu iz polprevodniških materialov glede na piezorezistenčni učinek polprevodniških materialov. Substrat se lahko uporablja neposredno kot merilni zaznavni element, difuzijski upor pa je na substrat povezan v obliki mostu. Ko je substrat deformiran zaradi zunanje sile, se bodo vrednosti upora spremenile in most bo ustvaril ustrezen neuravnotežen izhod.
Materiali substrata (ali diafragme), ki se uporabljajo kot piezorezistentni senzorji, so predvsem silicijeve rezine in germanijeve rezine, silicijevi piezorezistivni senzorji iz silicijevih rezin kot občutljivih materialov pa so pritegnili vedno več pozornosti, zlasti za polprevodniške piezorezistivne senzorje, ki merijo tlak in hitrost.
RTD
Merjenje temperature upora temelji na dejstvu, da upornost kovinskega prevodnika narašča z naraščajočo temperaturo. Toplotna upornost je večinoma izdelana iz čistih kovinskih materialov, pri čemer sta najpogosteje uporabljena platina in baker, materiali, kot so nikelj, mangan in rodij, pa so se začeli uporabljati za izdelavo toplotnih uporov.
Senzorji RTD merijo temperaturo in s temperaturo povezane parametre z uporabo dejstva, da se vrednost upora spreminja s temperaturo. Ta senzor je bolj primeren za priložnosti, kjer je potrebna natančnost zaznavanja temperature. Obsežnejši materiali RTD so platina, baker, nikelj itd., ki imajo značilnosti velikega temperaturnega koeficienta upora, dobre linearnosti, stabilne zmogljivosti, širokega temperaturnega razpona in enostavne obdelave. Uporablja se za merjenje temperature v območju -200 stopinj ~+500 stopinj.